Surveyor 5 hatte eine modifizierte Untersuchungsausrüstung an Bord. Statt des Baggers war ein Gerät für Bodenanalysen dabei. Das Gerät wurde auf den Mondboden abgesenkt und arbeitete mit einem Alpha-Strahler (Cu-242) sowie einem Detektor zur Messung der Protonenrückstreuung.
Die Resultate wiesen für das Bodenmaterial auf eine basaltartige Zusammensetzung hin.